塗布・乾燥プロセス

• スピンコート法による膜質は均一である
• 塗膜の乾燥による硬化メカニズムを明確にする
• 乾燥速度・乾燥限界
• 表面硬化層
• 乾燥時の液体メニスカスの挙動を追う
• 超臨界と凍結乾燥法によるラプラス力低減
• スピンコート法による膜厚10nm以下の自己組織化(SAN)膜の作成

微粒子制御

• 小さいサイズの微粒子ほど凝集を支配する
• 微粒子の凝集はサイズに依存する
• 小さい微粒子の凝集力は下がる

塗膜の性質

• 塗膜の表面には極薄い硬化層ができている
• 高分子膜の表面粗さをナノスケールで制御する
• ナノマニピュレーション法による凝集性解析
• アルカリ水溶液の浸透による応力変動
• 熱処理により界面への溶液浸透は加速する
• ＣＶＤ膜の被覆性およびボイド形成
• 減圧乾燥による内部応力コントロール
• 屈折率による膜の浸透・膨潤解析

Ｑ＆Ａ（よくいただくご質問）

• ２０件

液滴の濡れ性

• 接触角をエネルギー的に解析する
• 表面粗さと素材割合によって接触角は変化する
• 撥水表面は濡れにくい
• 濡れ挙動は分散極性と拡張係数で説明できる
• アルミ基板上での高分子パターンの付着性
• ピンニングにより濡れは支配される

付着剥離

• 塗膜の付着性と表面エネルギーの極性成分
• ウェットエッチングと塗膜の内部応力
• 塗膜の熱処理と溶液中の付着性コントロール
• 界面構造と付着性
• 熱処理によって大気中の付着力は増加する
• はんだバンプの高精度剥離法とは（角度可変型剥離法）

微小気泡

• 微細パターンによる微小気泡の付着脱離解析
• マイクロチャネル/チューブ網における気泡トラップ解析

塗布乾燥欠陥

• 接着層のピンホール（VF(viscos finger)変形）
• ピンホールは拡張モードで解決する
• 塗膜のクラック発生を抑制する
• 環境応力亀裂の発生メカニズム
• 乾燥むらは乾燥時の対流が原因である
• ウォータマーク（乾燥痕）の生じる原因
• 塗膜内のガス発生により微小剥離が生じる

表面エネルギーと表面処理

• 表面現象と表面エネルギーと表面積依存性
• 凸部では濡れにくく凹部では濡れやすい
• シランカップリング処理による疎水化
• シランカップリング処理の最適化
• シランカップリング処理と密着性及び付着性

Ｑ＆Ａ（よくいただくご質問）

• ４４件

フォトレジスト

• リソグラフィによる高分子パターン形成
• 塗膜ラインパターンは先端から剥離する
• 微細加工パターンの付着性と付着面積
• 溶液中の塗膜パターンの付着力
• 高分子パターンと微細空孔（vacancy）
• 薄膜の加工技術とが半導体集積回路の発展
• 最先端エレクトロニクスへの塗膜技術
• DFRレジストによるメッキプロセス
• レジストパターン内の屈折率分布測定
• 多層レジストプロセスの高機能化によるCu配線形成
• ポジ型レジストを用いたネガパターン形成
• 3次元リソグラフィ(光造形法)による微小立体構造作成

評価・分析・解析

• AFMによる微細加工パターンの付着性解析（１）
• AFMによる微細加工パターンの付着性解析（２）
• AFMによるナノ気泡・ナノ液滴解析
• AFMを用いた微小固体のヤング率測定
• 相互作用力を実測し付着力を推定する
• 水素結合成分による高分子膜の相互作用解析
• AFMによる高感度湿度センサー
• 固体表面でのAFM探針の吸着力解析
• AFMを用いた一括破壊試験法
• AFMによる微粒子間の相互作用力解析

信頼性評価

• コーティング膜の信頼性を解析する
• プリント基板接着層の疲労耐久試験

Ｑ＆Ａ（よくいただくご質問）

• ４件