ナノ・マイクロシステム工学研究室 河合研究室

国内学会

２０１６年

９件

• 岸井裕太、河合 晃：
  光散乱法による微小バブル／微粒子系のゼータ電位解析、
  第77回応用物理学会秋季学術講演会、14p-P16-8（2016）
• 矢木菜摘、河合 晃：
  マイクロチャネル/チューブ網における気泡トラップ解析、
  第77回応用物理学会秋季学術講演会、14p-P16-7（2016）
• *、河合 晃：
  マイクロヒータ/チャネルの作製と応用、
  第77回応用物理学会秋季学術講演会、14p-P16-6（2016）
• 河合 晃、丸山智大、中野弘基：
  電子線照射／UV露光ハイブリッドリソグラフィによるレジストパターンの形成、
  第77回応用物理学会秋季学術講演会、14p-P16-4（2016）
• 白瀧穂高、河合 晃、大谷翔吾、笹崎大生：
  リソグラフィ用レジスト材料の誘電分散特性、
  第77回応用物理学会秋季学術講演会、14p-P16-3（2016）
• 丸山智大、中野弘基、河合 晃：
  スピンコート法によるレジスト膜の自己組織化ネットワーク(SAN)構造の形成、
  第77回応用物理学会秋季学術講演会、14p-P16-2（2016）
• 山根克明、河合 晃：
  溶存酸素抽出による液中動作型燃料電池の開発、
  第77回応用物理学会秋季学術講演会、14p-P13-8（2016）
• 山根克明、丸山智大、河合 晃：
  コーン型マイクロチューブ内への ガス捕獲機能、
  第77回応用物理学会秋季学術講演会、13a-D61-5（2016）
• 白瀧穂高、河合 晃：
  C-V応答法によるMIS構造内レジスト膜へのTMAH現像液の浸透解析、
  第77回応用物理学会秋季学術講演会、13a-D61-4（2016）

２０１５年

４件

• 白瀧穂高、河合 晃：
  Ta₂O₅薄膜をゲート酸化膜としたMOSキャパシタのTDDB評価、
  平成27年度(2015年) 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会、講演予稿集、E13、P32（2015）
• 中野弘基、河合 晃：
  高分子膜内の自己組織化ナノスケール網目状構造の形成、
  平成27年度(2015年) 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会、講演予稿集、A16、P33（2015）
• 中野弘基、河合 晃：
  電子線照射／UV露光リソグラ フィによるパターン高さ制御、
  平成27年度(2015年) 応用物理学会 北陸・信越支部 学術講演会、講演予稿集、A15、P32（2015）
• 山根克明、河合 晃：
  フジツボ型液体透過性触覚センサデバイスの作製、
  平成27年度電子情報通信学会信越支部大会、講演論文集、P-17、P153（2015）

２０１３年

１１件

• 大谷翔吾、河合　晃：
  植物電位・電流シグナルにおける測定部位の検討、
  第23回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、IV-11、P61（2013）
• 野口悠太、河合　晃：
  マイクロヒータ／チャネルデバイスの局所加熱特性、
  第23回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、IV-09、P59（2013）
• 篠崎雅也、河合　晃：
  C-V測定を用いた誘電膜の特性評価、
  第23回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-16、P18（2013）
• 鎌田　隼、河合　晃：
  紫外線照射による酸化チタン膜表面の活性化、
  第23回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-15、P17（2013）
• 大塚和俊、高橋健太、河合　晃：
  ポジ型およびネガ型フォトレジストの溶解度の差を用いたマイクロチューブの作製、
  第23回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-14、P16（2013）
• 桜井洋輔、河合　晃：
  リソグラフィプロセスを用いた燃料電池用電解質のマイクロパターン形成、
  第23回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-13、P15（2013）
• Yuta Noguchi, Akira Kawai：
  Micro local heating system integrated with surround microfluidic channel,
  電気学会センサ・マイクロマシン部門　第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 6PM3-PSS-128 (2013).
• Kazutoshi Otsuka, Kenta Takahashi, Akira Kawai：
  Fabrication of Micro Tube Array by Combining Positive with Negative Photoresist due to Solubility Difference in Developer,
  電気学会センサ・マイクロマシン部門, 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 6PM3-PSS-116 (2013).
• Shogo Ohtani, Akira Kawai：
  Bio-plant power collecting system by functional electrode，
  電気学会センサ・マイクロマシン部門　第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，5PM3-PSS-133 (2013).
• Yosuke Sakurai, Daisuke Tanaka, Shunsuke Ohata, Akira Kawai：
  Single Chip Micro Direct Methanol Fuel Cell (SC-μDMFC) composed with Multilayer Structure,
  電気学会センサ・マイクロマシン部門　第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, 5PM3-PSS-119 (2013).
• Shun Kamada, Akira Kawai：
  Surface energy analysis of TiO₂ film activated by UV irradiation，
  電気学会センサ・マイクロマシン部門　第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム，5PM3-PSS-115 (2013).

２０１２年

３件

• 窪田直也、河合　晃：
  摩擦蓄電エネルギーの民生機器の実用化の検討、
  第22回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P-14、P78 (2012)
• 大谷翔梧、河合　晃：
  植物電位と表面温度の多点測定による緑葉植物の生育観察、
  第22回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、II-13、P30 (2012)
• 大塚和俊、河合　晃：
  SU-8フォトレジストの人工皮膚材料としての検討、
  第22回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-02、P4 (2012)

２０１１年

６件

• 大谷 翔吾、河合　晃：
  緑葉植物の0～700mVの局所電位測定と解析、
  電気学会 基礎・材料・共通部門大会、要旨集、P-28 (2011)
• 森田 直也、河合　晃：
  メタノール水溶液中での高分子膜内の微小電流解析、
  電気学会 基礎・材料・共通部門大会、要旨集、P-27 (2011)
• 桜井 洋輔、河合　晃：
  シート型直接メタノール燃料電池(DMFC)の外部荷重による発電基礎特性、
  電気学会 基礎・材料・共通部門大会、要旨集、P-22 (2011)
• 森永和也、河合　晃：
  メタノール水溶液中でのワイヤー電極の電位検出、
  電気学会 電子・情報・システム部門大会、講演予稿集、GS10-5 (2011)
• 相場　崇、河合　晃：
  X線光電子分光法(XPS)によるSi基板上のシランカップリング処理層の再生評価と制御、
  電気学会 電子・情報・システム部門大会、講演予稿集、GS10-3、P1424 (2011)
• 野口悠太、河合　晃：
  植物内の細胞間電位の測定とモニタリング、
  電気学会 電子・情報・システム部門大会、講演予稿集、PS2-1、P1561 (2011)

２０１０年

４件

• 河合　晃、山田昌佳、大澤義征、宝泉俊宏：
  超音波プローブ振動法によるはんだバンプの付着性解析、
  Mate2010（第16回 「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」 シンポジウム）
• 小野哲矢、河合　晃：
  微小液滴の自由落下メカニズム解析、
  第２７回フォトポリマーコンファレンス、マイクロリソグラフィとナノテクノロジー、Ｂ４－０２、（千葉）2010
• 大畑俊輔、河合　晃：
  ＰＮ接合アレイを用いた溶液の誘電特性解析、
  第２７回フォトポリマーコンファレンス、マイクロリソグラフィとナノテクノロジー、Ｂ４－０３、（千葉）　2010
• 山田昌佳、河合　晃：
  超音波振動法によるレジストパターンの特性解析、
  第２７回フォトポリマーコンファレンス、マイクロリソグラフィとナノテクノロジー、Ｂ４－１７、（千葉）　2010
• 山田昌佳、河合　晃：
  超音波による眼鏡フレームの共振解析、
  第20回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P-17、P56(2010)
• 山田昌佳、河合　晃、大澤義征、宝泉俊宏：
  超音波プローブ振動法によるはんだバンプの付着性解析、
  第20回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅱ-04、P12(2010)
• 小野哲矢、河合　晃：
  固体上での落下液滴の付着性、
  第20回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅱ-03、P11(2010)
• 小野哲矢、河合　晃：
  微小液滴の自由落下メカニズム解析、
  第20回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅱ-02、P10(2010)

２００９年

２件

• 宮崎順二、河合　晃、
  Ｓｉ異方性ウェットエッチングにおけるマスク欠陥の転写特性、
  第２６回フォトポリマーコンファレンス、マイクロリソグラフィとナノテクノロジー、Ｂ５－１０、（千葉） 2009
• 笹崎大生、河合　晃、
  レジスト膜の誘電分散特性、
  第２６回フォトポリマーコンファレンス、マイクロリソグラフィとナノテクノロジー、Ｂ５－１１、（千葉）2009

２００８年

７件

• 小黒恭平、富永隼賢、加藤孝弘、河合 晃、濱崎勝義：
  Bi₂Sr₂CaCu₂O_x単結晶の希塩酸処理により創製されたBiOCl結晶の表面平滑性、
  平成２０年度　応用物理学会　北陸・信越支部　学術講演会、2A-11、ｐ37 (2008).
• 山路貴司、河合 晃：
  マスクシフト型異方性エッチングによるSi(100)面の真円加工、
  平成20年度（第18回）電気学会東京支部新潟支所研究発表会、p86 (2008).
• 田中大祐、河合 晃：
  バブル法による液中ガス溶解度解析、
  平成20年度（第18回）電気学会東京支部新潟支所研究発表会、p51 (2008).
• 河合 晃、エクスリヤ ペットプーチャイ：
  アニール処理中のシリコン基板の表面酸化抑制、
  平成20年度（第18回）電気学会東京支部新潟支所研究発表会、p128 (2008).
• 笹﨑大生、加藤孝弘、河合 晃、濱崎勝義：
  静電容量測定による液体窒素の誘電率の周波数分散特性、
  平成20年度（第18回）電気学会東京支部新潟支所研究発表会、p90 (2008).
• 高野覚啓、河合 晃：
  純水中のイオン電流測定による溶存酸素濃度モニタリング、
  平成20年度（第18回）電気学会東京支部新潟支所研究発表会、p129 (2008).
• 名和海明、小黒恭平、廣瀬将圭、加藤孝弘、河合 晃、濱崎勝義：
  希塩酸処理法を用いたBi₂Sr₂CaCu₂O_x固有接合作製プロセスの最適化、
  秋季第69回応用物理学会学術講演会、ｐ227 (2008).
• 山路貴司、河合 晃：
  ファンデルワールス相互作用に基づくレジストパターンの非接触変形、
  The 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology Materials Processes for Advanced Microlithography and Nanotechnology (ICPST-25), Chiba, Japan, B5-05 (2008)
• 河合 晃、山路貴司、堀口博司：
  様々な表面エネルギーを有する基板上での微小深針の吸着特性、
  The 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology Materials Processes for Advanced Microlithography and Nanotechnology (ICPST-25), Chiba, Japan, B5-04 (2008)
• 田中大祐、河合 晃：
  金属／絶縁膜の複合基板上に作製したDFRマイクロ流路内の気泡流れ制御、
  The 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology Materials Processes for Advanced Microlithography and Nanotechnology (ICPST-25), Chiba, Japan, B5-03 (2008)
• 河合 晃、田中大祐、有賀智崇：
  DFRを用いた微小チャンネルデバイス、
  The 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology Materials Processes for Advanced Microlithography and Nanotechnology (ICPST-25), Chiba, Japan, B5-02 (2008)
• 河合 晃、田中大祐、松原雅淑、小方雅淑、橘 和寿：
  ウェットプラスト技術により作製された微細凹凸表面でのポリマー溶液の濡れ性制御、
  The 25th International Conference of Photopolymer Science and Technology Materials Processes for Advanced Microlithography and Nanotechnology (ICPST-25), Chiba, Japan, B5-01 (2008)

２００７年

１４件

• 久保田陽満、河合　晃：
  局所電界印加法による基板上に付着した10.3μｍφシリカ粒子の非接触除去、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P3 (2007)
• 久保田陽満、大澤義征、河合　晃：
  20～200μｍ線幅のドライフィルムレジスト（ＤＦＲ）パターン付着力の直接剥離測定法の開発、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P199 (2007)
• Shingo Kuroda, Tomohiro Goto, Osamu Tamada, Masakazu Sanada, Akira Kawai：
  Resist/Buffer/Substrate Systems as Stable MEMS Component ～Intermediate Layer detected by FT-IR/ATR Method～、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P119 (2007)
• 久保田陽満、河合　晃：
  10.3μｍφシリカ粒子表面への銅薄膜メッキ技術の開発、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P100 (2007)
• 黒田真吾、河合　晃：
  擬似欠陥マスクを用いたＳｉ異方性エッチング形状異常の発生メカニズム、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P102 (2007)
• 黒田真吾、河合　晃：
  自己振動プローブ機構を用いた地震振動スペクトルの新規検出システムの開発、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P8 (2007)
• Kazutoshi Kurano, Takahiro Kishioka, Yoshiomi Hiroi, Takuya Ohashi, Akira Kawai：
  New analysis method of peeling process of 100nm width ArF resist pattern by using AFM、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P118 (2007)
• 倉野一俊、河合　晃：
  液中動作ＭＥＭＳデバイス内の微細パターン構造の破壊抑制、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P103 (2007)
• 田中大祐、山中雅貴、河合　晃：
  試作した縮小投影露光装置を用いた3μｍルールリソグラフィー技術の開発、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P415 (2007)
• 倉野一俊、河合　晃：
  環境制御型走査電子顕微鏡（ＥＳＥＭ）を用いた直系10μｍ微粒子間のメニスカス操作による再配列技術の開発、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P4 (2007)
• 田中竜太郎、久保田陽満、河合　晃：
  シード層によるＣｕメッキ薄膜の成長促進メカニズム、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P101 (2007)
• 山路貴司、河合　晃：
  10nm以下の極近接領域で作用する固体の引力と変位解析、
  第17回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P9 (2007)
• 河合　晃、倉野一俊、鈴木健太：
  原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）によるナノバブルの付着凝集解析、
  日本接着学会第４５回年次大会、講演予稿集、Ｐ２０Ｂ、ｐ３９（２００７）
• 倉野一俊、河合　晃：
  微小液滴の冷却過程とカプセル化、
  日本接着学会第４５回年次大会、講演予稿集、Ｐ４９Ａ、ｐ３７（２００７）

２００６年

９件

• 河合　晃：
  原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）による微細レジストパターンの付着凝集解析、
  第55回高分子討論会予稿集、1H08, p3526, vol.55 (2006).
• 河合　晃、久保田陽満：
  大気中および水中でのSi(100)表面の自然酸化膜の成長、
  第16回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-4 、P 6 (2006)
• 有賀智崇、河合　晃：
  低表面張力液体中におけるマイクロバブルの成長に起因した微細デバイス構造の破壊、
  第16回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-14、P16 (2006)
• 河合　晃、黒田真吾：
  電界制御による微細プローブの変位コントロール、
  第16回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-10 、P12 (2006)
• 倉野俊一、河合　晃：
  微小液滴の凍結コントロールに小液滴よる液体カプセルの作製、
  第1６回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-3 、P 5 (2006)
• 鈴木健太、河合　晃：
  マイクロバブルの溶解挙動に基づく基板表面近傍での溶存ガス濃度の解析法、
  第1６回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、I-15、P17 (2006)
• 河合　晃、倉野一俊：
  液滴の凍結により形成される特異形状の解析、
  春季第53回応用物理学関係連合講演会、25a-ZB-11, 講演予稿集、No.2, (2006)
• 河合　晃：
  レジストパターン上での濡れ挙動解析、
  春季第53回応用物理学関係連合講演会、25a-ZB-11, 講演予稿集、No.2, (2006)
• 河合　晃：
  レジスト膜上での微小液滴の乾燥過程解析、
  春季第53回応用物理学関係連合講演会、25a-ZB-10, 講演予稿集、No.2, (2006)

２００５年

９件

• 新山雄俊、河合　晃：
  ピンニング力と毛管力とのハイブリッド制御による機能性流体制御システム、
  第15回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅳ－10、P74、(2005)
• 河合　晃、鈴木健太：
  直径50nm以下の液中ナノバブルの観察技術および付着安定性の確立、
  第15回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅱ－04、P40、(2005)
• 河合　晃、丹治隆志、新山雄俊、鈴木健太：
  微細探針のインデンテーション法による高分子パターンの表面硬化層の解析、
  日本接着学会第43回年次大会、講演要旨集、(2005).
• 河合　晃、石川厚志、新山雄俊、鈴木健太：
  原子間力顕微鏡（AFM)による純水中の微小気泡の付着・脱離制御、
  日本接着学会第43回年次大会、講演要旨集、(2005).
• 河合　晃、平野正人、新山雄俊：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(30)～レジストパターン配列に起因したリンス液の乾燥挙動～、
  春季第52回応用物理学関係連合講演会、31p-YW-９, 講演予稿集、No.2, p838, (2005)
• 河合　晃、丹治隆志、新山雄俊：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(29)～Tip indentation法によるレジストパターンの表面硬化層解析～、
  春季第52回応用物理学関係連合講演会、31p-YW-10, 講演予稿集、No.2, p838, (2005)
• 石川厚志、河合　晃：
  液浸リソグラフィーにおける微小気泡の付着・脱離制御(6)～原子間力顕微鏡（AFM)によるArFレジスト表面でのナノバブルの凝集制御～、
  春季第52回応用物理学関係連合講演会、31p-YW-18, 講演予稿集、No.2, p841, (2005)
• 新山雄俊、石川厚志、河合　晃：
  液浸リソグラフィーにおける微小気泡の付着・脱離制御(5)～原子間力顕微鏡（AFM)によるSi上のナノバブルの基礎特性～、
  春季第52回応用物理学関係連合講演会、31p-YW-17, 講演予稿集、No.2, p841, (2005)
• 河合　晃、石川厚志：
  液浸リソグラフィーにおける微小気泡の付着・脱離制御(４)～原子間力顕微鏡（AFM)を用いたナノバブル観察法の基礎～、
  春季第52回応用物理学関係連合講演会、31p-YW-16, 講演予稿集、No.2, p840, (2005)

２００４年

１６件

• 河合　晃、石川厚志：
  微細レジストパターンの熱変形解析、
  第14回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅲ－11、P55(2004)
• 遠藤穂高、河合　晃：
  高分子膜上に付着する微小気泡、
  第14回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P－39、P119(2004)
• 新山雄俊、河合 晃：
  大気中動作マイクロマシンにおける吸着水の影響、
  第14回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅲ－5、P49(2004)
• 山中雅貴、河合　晃：
  石英ガラス上における微小気泡の付着・脱離特性解析、
  第14回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅲ－12、P56(2004)
• 新山雄俊、河合　晃：
  原子間力顕微鏡（AFM）を用いた高分子膜表面に働く相互作用引力の実測と解析、
  日本接着学会第42回年次大会、P42B、講演要旨集、p85(2004).
• 遠藤穂高、河合　晃：
  高分子膜上での微小気泡の付着・脱離制御、
  日本接着学会第42回年次大会、P41A、講演要旨集、p83(2004).
• 河合　晃：
  微細領域での接着解析技術の進歩、
  日本接着学会第42回年次大会、講演要旨集、p117(2004).
• 河合　晃、新山雄俊：
  AFMを用いた帯電によるレジストパターンの変形・剥離解析、
  春季第51回応用物理学関係連合講演会、29a-H-2, 講演予稿集、No.2, p1061, (2004)
• 河合　晃、遠藤穂高：
  液浸リソグラフィーにおける微小気泡の付着・脱離制御(3)～レジスト表面の異物・欠陥への気泡の付着～、
  春季第51回応用物理学関係連合講演会、29a-G-11, 講演予稿集、No.2, p777, (2004)
• 河合　晃、山中雅貴：
  液浸リソグラフィーにおける微小気泡の付着・脱離制御(2)～石英レンズ表面の有機汚染の影響～
  春季第51回応用物理学関係連合講演会、29a-G-10, 講演予稿集、No.2, p777, (2004)
• 河合　晃、遠藤穂高：
  液浸リソグラフィーにおける微小気泡の付着・脱離制御(1)～付着・脱離メカニズムの解析～、
  春季第51回応用物理学関係連合講演会、29a-G-9, 講演予稿集、No.2, p777, (2004)
• 河合　晃、坂田　誠、石川厚志：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(28)～3次元パターン内のメニスカス解析③～、
  春季第51回応用物理学関係連合講演会、28a-T-6, 講演予稿集、No.2, p769, (2004)
• 河合　晃、石川厚志：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(27)＜個々の高分子集合体のヤング率測定＞、
  春季第51回応用物理学関係連合講演会、28a-T-5, 講演予稿集、No.2, p768, (2004)
• 河合　晃、新山雄俊：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(26)～分子間力によるレジストパターン変形②(湿度依存性)～、
  春季第51回応用物理学関係連合講演会、28a-T-4, 講演予稿集、No.2, p768, (2004)
• 河合　晃、新山雄俊：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(25)～分子間力によるレジストパターン変形①～、
  春季第51回応用物理学関係連合講演会、28a-T-3, 講演予稿集、No.2, p768, (2004)
• 河合　晃、石川厚志：
  原子間力顕微鏡(AFM)を用いた固体表面の汚染・洗浄解析(2)＜基板上異物の付着力の直接測定＞
  春季第51回応用物理学関係連合講演会、31p-B-1, 講演予稿集、No.2, p856, (2004)

２００３年

２０件

• 河合　晃、金子悦久、山中雅貴：
  光学シミュレーションに基づく高アスペクト比のパターン形成、
  第13回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅳ－19、P80(2003).
• 河合　晃、遠藤穂高：
  低表面張力液体による気泡除去方法のメカニズム解析、
  第13回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅳ－18、P79(2003).
• 河合　晃、丹波隆志、石川厚志：
  高分子集合体間の付着力に基づいたレジストパターンの凝集力解析、
  第13回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅰ－12、P16(2003).
• 河合　晃、新山雄俊、澤永裕司：
  電荷蓄積型メモリの検出感度と高集積化、
  第13回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅳ－17、P78(2003).
• 根本忠哉、河合　晃、大沢義征：
  Sn-Pb系及びPbフリーはんだバンプの剥離過程解析、
  第13回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅰ－13、P17(2003).
• 平野正人、河合　晃：
  液体の乾燥速度と微細形状の関係、
  第13回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ⅳ―16、P77(2003).
• 河合　晃、丹波隆志、平野正人：
  レジストパターン中の10～50nmの空孔(vacancy)検出法、
  第13回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、Ｐ－11、P91(2003).
• 坂田　誠、河合　晃：
  液体の乾燥過程における三次元パターン内でのメニスカス挙動解析(2)＜液体表面張力の依存性＞
  第13回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P-59、P139(2003).
• 河合　晃、坂田　誠、石川厚志：
  液体の乾燥過程における三次元パターン内でのメニスカス挙動解析(1)＜液体表面張力の依存性＞
  第13回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集、P-58、P138(2003).
• 河合　晃、平野正人：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(24)＜ナノメニスカスのAFM観察＞、
  秋季第64回応用物理学会学術講演会、31p-ZQ-15、講演予稿集、p636(2003).
• 坂田　誠、河合　晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(23)＜3次元パターン内のメニスカス解析②＞、
  秋季第64回応用物理学会学術講演会、31p-ZQ-14、講演予稿集、p636(2003).
• 河合　晃、石川厚志、坂田　誠：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(22) ＜3次元パターン内のメニスカス解析①＞、
  秋季第64回応用物理学会学術講演会、31p-ZQ-13、講演予稿集、p636(2003).
• 河合　晃、丹治隆志、平野正人：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(21)＜レジスト膜中の高分子集合体のVacancy＞、
  秋季第64回応用物理学会学術講演会、31p-ZQ-12、講演予稿集、p635(2003).
• 根本忠哉、河合　晃、大澤義征：
  断面SEM法によるはんだバンプの剥離過程解析、
  日本接着学会第41回年次大会、P23A、講演要旨集、p45(2003).
• 河合　晃、丹治隆志、根本忠哉：
  原子間力顕微鏡(AFM)による分子間力解析に基づいたエポキシ系接着剤の接着性解析、
  日本接着学会第41回年次大会、P22B、講演要旨集、p43(2003).
• 平野正人、河合　晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)によるラプラス力測定に基づいたナノ構造の破壊強度に関する考察、
  日本接着学会第41回年次大会、P21A、講演要旨集、p41(2003).
• 河合　晃、丹治隆志、平野正人：
  原子間力顕微鏡(AFM)による高分子集合体のナノスケールでの凝集性解析、
  日本接着学会第41回年次大会、P20B、講演要旨集、p39(2003).
• 河合　晃、大澤義征：
  角度制御型シェアモード剥離法によるはんだバンプの付着性解析、
  日本接着学会第41回年次大会、2-3、講演要旨集、p237(2003).
• 丹治隆志、河合　晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(20)＜高分子集合体のライン状への再配列＞、
  第50回応用物理学関係連合講演会、29p-YK-8、講演予稿集、p775(2003).
• 丹治隆志、河合　晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(19)＜高分子集合体の細分化＞、
  第50回応用物理学関係連合講演会、29p-YK-7、講演予稿集、p775(2003).

２００２年

１１件

• 河合　晃、森池教夫、坂田　誠：
  原子間力顕微鏡微細探針を用いた直径84～364nmドットレジストパターン付着・凝集性解析、
  第12回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、Ⅳ-16、予稿集、p81(2002).
• 河合　晃、小泉延恵、根本忠哉：
  Cu/Al多層膜構造の破壊強度に及ぼすAl自然酸化膜の影響、
  第12回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、P-15、予稿集、p98(2002).
• 河合　晃、井上大輔、平野正人：
  原子間力顕微鏡による高分子集合体と基板間のファン・デル・ワールス相互作用解析、
  第12回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、Ⅳ-17、予稿集、p82(2002).
• 丹治隆志、河合　晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着・凝集性解析(18)＜パターン内の硬さ分布解析＞、
  秋季第63回応用物理学会学術講演会、26a-N-8、講演予稿集、p629(2002).
• 丹治隆志、河合　晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)の力曲線に基づく固体表面の汚染・洗浄解析、
  秋季第63回応用物理学会学術講演会、26p-E-8、講演予稿集、p704(2002).
• 河合　晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)を用いた高分子集合体の凝集・付着性解析、
  日本接着学会第40回年次大会、A07、講演要旨集、p143(2002).
• 丹治隆志、河合　晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)を用いたサブミクロンサイズのラインレジストパターン表面のインデンテイション解析、
  日本接着学会第40回年次大会、P24B,講演要旨集、p45(2002).
• 河合　晃、森池教夫、丹治隆志：
  原子間力顕微鏡(AFM)を用いた直径84～364nmの微小円柱型レジストパターンの弾性解析、
  日本接着学会第40回年次大会、P23A、講演要旨集、p43(2002).
• 河合　晃、阿部貴人：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着力解析(17)＜高分子集合体のマニピュレーション＞、
  春季第49回応用物理学関係連合講演会、28a-YR-22、講演予稿集、p712(2002).
• 河合　晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着力解析(16)＜共振モードによるパターン剥離＞、
  春季第49回応用物理学関係連合講演会、28a-YR-21、講演予稿集、p712(2002).
• 井上大輔、河合　晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着力解析(15)＜純水中でのレジスト凝集性の低下＞、
  春季第49回応用物理学関係連合講演会、28a-YR-20、講演予稿集、p711(2002).

２００１年

１５件

• 岩田敏幸、河合　晃：
  ＡＴＲ測定による食品包装材の剥離後のＳｉ表面解析、
  平成１３年度応用物理学会北陸・信越支部学術講演会、講演予稿集、2E-3、p112, (2001).
• 井上大輔、河合　晃：
  マイクロデバイスにおける微小固体の強度設計、
  第11回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、IV-4、予稿集、p84 (2001).
• 河合　晃,　森池教夫、丹治隆志：
  極微小サイズにおける有機固体のヤング率の決定、
  第11回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、IV-3、予稿集、p83 (2001).
• 小井土順一、河合　晃：
  薄膜コート法による固体表面歪の簡易検出法、
  第11回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、IV-2、予稿集、p82 (2001).
• 河合　晃、森池教夫、丹治隆志：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着力解析(14)＜ArF/SORレジストパターンのヤング率及び付着性＞、
  秋季第６２回応用物理学会学術講演会、12a-E-30, 講演予稿集、No.2, p540 (2001).
• 井上大輔、河合　晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着力解析(13)＜基板界面内での高分子集合体モデル＞、
  秋季第６２回応用物理学会学術講演会、12a-E-29, 講演予稿集、No.2, p540 (2001).
• 河合　晃、澤永裕司：
  原子間力顕微鏡を用いた局所帯電法による微粒子群の凝集性の制御、
  日本接着学会第39回年次大会、T01,　講演要旨集, p145-148, (2001).
• 河合　晃、岩田敏幸、金川栄三：
  カンチレバー方式による高感度センサーの開発、
  日本接着学会第39回年次大会、P51A,　講演要旨集, p101-102, (2001).
• 小井土順一、河合　晃：
  Cu/Al多層膜表面に発生した“しわ”による応力分布解析法、
  日本接着学会第39回年次大会、P38B,　講演要旨集, p75-76, (2001).
• 河合　晃、小井土順一、関　明寛：
  ２枚の基板で挟まれた高分子膜に生じるViscous Finger変形と接着性の解析、
  日本接着学会第39回年次大会、P39A,　講演要旨集, p77-78, (2001).
• 井上大輔、阿部貴人、森池教夫、河合　晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)を用いた疎水化Si基板上における微細レジストパターンの付着力解析、
  日本接着学会第39回年次大会、P41A,　講演要旨集, p81-82, (2001).
• 井上大輔、金子悦久、河合　晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)を用いた170nmのレジストパターン破壊におけるクラックモデル解析、
  日本接着学会第39回年次大会、P40B,　講演要旨集, p79-80, (2001).
• 井上大輔、河合　晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着力解析(12)＜ラインパターンの破壊過程のクラックモデル解析＞、
  春季第４８回応用物理関係連合講演会、28p-ZD-3, 講演予稿集、No.2, p731 (2001).
• 阿部貴人、河合　晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着力解析(11)＜疎水化Si基板上の微細パターンの付着力解析＞、
  春季第４８回応用物理関係連合講演会、28p-ZD-4, 講演予稿集、No.2, p731 (2001).
• 小井土順一、河合　晃：
  Cu/Al系多層膜表面に発生した「しわ」による面内応力分布解析法、
  春季第４８回応用物理関係連合講演会、31a-ZM-5, 講演予稿集、No.2, p678 (2001).

２０００年

１７件

• 井上大輔、河合　晃：
  線幅170nmのラインレジストパターンにおける破壊挙動解析、
  第１０回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、IV-18、予稿集、p88 (2000).
• 阿部貴人、河合　晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)を用いた疎水化Si基板上の微細パターンの破壊解析、
  第１０回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、IV-19、予稿集、p89 (2000).
• 原　朋敬、河合　晃：
  溶剤蒸発に伴うエポキシ接着層内の微小空隙形成、
  第１０回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、I-14、予稿集、p18 (2000).
• 磯部　亮、河合　晃：
  ＨＭＤＳソースを用いたプラズマ重合法によるナノメータギャップの作製、
  第１０回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、p-15、予稿集、p107 (2000).
• 河合 晃、森池 教夫：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着挙動解析(10)～ArFレジストパターンの破壊特性～、
  秋季第61回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集4a-X-6、P594　(2000)
• Akira Kawai：
  Cohesion and Adhesion of Micro Condensed Matter Analyzed with Atomic Force Microscope Tip、
  Workshop on the Meso-sized Materials and Devices (I), proceedings, P52 (2000)
• 河合 晃：
  原子間力顕微鏡を用いたナノスケール固体の付着・凝集特性解析、
  第38回日本接着学会年次大会、予稿集2-12、P247　(2000)
• 河合 晃、磯部 亮、寺本 和良、原賀 康介：
  交流インピーダンス法による接着層の特性解析、
  第38回日本接着学会年次大会、予稿集P-11-A、P21　(2000)
• 吉田 秀昭、中村 忠司、川上 喜章、河合 晃：
  Cu基板/DFR/Niめっき液の3重点における界面エネルギーの平衡状態によるEaves形成モデルの確立、
  第38回日本接着学会年次大会、予稿集P-44-B、P87　(2000)
• 河合 晃、磯部 亮：
  HMDSを用いたプラズマ重合法によるナノメータサイズのギャップ作製技術、
  第38回日本接着学会年次大会、予稿集P-62-B、P123　(2000)
• 河合 晃、阿部 貴人：
  原子力間顕微鏡(AFM)を用いた線幅100nm以下のラインレジストパターンの付着力解析、
  第38回日本接着学会年次大会、予稿集P-67-A、P133　(2000)
• 森池 教夫、阿部 貴人、河合 晃：
  原子間力顕微鏡を用いたマニピュレーション技術による微細レジストパターン形成、
  第38回日本接着学会年次大会、予稿集P-72-B、P143　(2000)
• 河合 晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)を用いた有機微細ドットパターンの剥離特性解析、
  粘着研究会平成12年度研究発表会、(2000)
• 河合 晃：
  微細レジストパターンの付着性及び微小液滴のぬれ性解析、
  FPD Expo Japan 2000 ＆ セミコン関西2000、アカデミアプラザポスターセッション、(2000)
• 澤永 裕司、河合 晃：
  AFM微細探針によるPSL微粒子群の凝集性解析、
  春季第47回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集28a-T-5、P180　(2000)
• 河合 晃、阿部 貴人：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着力解析(8)＜線幅60nmのラインパターンの剥離解析＞、
  春季第47回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集30a-A-6、P713　(2000)
• 森池 教夫、河合 晃：
  AFM微細探針を用いたマニピュレーション法によるレジストパターンの形成、
  春季第47回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集28p-F-7、P693　(2000)

１９９９年

１２件

• 河合 晃、原 朋敬：
  Al/Cu/レジスト多層膜の破壊特性解析、
  第9回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集Ⅰ-11、P57　(1999)
• 金子 悦久、阿部 貴人、河合 晃：
  原子力間顕微鏡(AFM)の微細探針を用いた微細パターンの破壊解析、
  第9回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集Ⅰ-10、P55　(1999)
• 澤永 裕司、河合 晃：
  原子間力顕微鏡の微細探針を用いた誘電体薄膜への局所帯電、
  第9回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集Ⅰ-9、P53　(1999)
• 森池 教夫、河合 晃：
  AFM微細探針によるKrFエキシマレーザー用化学増幅型レジストの付着力解析法、
  電子情報通信学会技術研究報告、予稿集CPM99-97、P63　(1999)
• 金子 悦久、森池 教夫、河合 晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの破壊メカニズムの解析、
  電子情報通信学会技術研究報告、予稿集CPM99-98、P69　(1999)
• 堀口 博司、澤永 裕司、河合 晃：
  AFM微細探針によるポリスチレンテラックス(PSL)微粒子間の相互作用力解析、
  電子情報通信学会技術研究報告、予稿集CPM99-99、P75　(1999)
• 河合 晃：
  AFM微細探針による微細パターンの付着力解析(8)～ラインパターンの強度分布解析～、
  秋季第60回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集1p-H-5、P581　(1999)
• 森池 教夫、河合 晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの付着力解析(7)＜ドットパターン付着力の定量解析法＞、
  秋季第60回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集1p-H-4、P581　(1999)
• 河合 晃、金子 悦久、森池 教夫：
  原子力間顕微鏡(AFM)の微細探針を用いた微細レジストマイクロパターンの直接剥離(3)、
  創立35周年記念、日本接着学会第37回年次大会、予稿集P-46-B、P169　(1999)
• 河合 晃、川神 淳子：
  原子間力顕微鏡(AFM)を用いた疎水及び親水処理後の固体表面のvan der Waals相互作用解析、
  創立35周年記念、日本接着学会第37回年次大会、予稿集P-10-B、P97　(1999)
• 金子 悦久、河合 晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの直接倒壊(6)＜KrFレジストパターンのヤング率測定＞、
  春季第46回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集29p-YB-1、P747　(1999)
• 河合 晃：
  ミクロンサイズの加工基板表面での液体のぬれ挙動(2)～複合基板表面での接触角～、
  春季第46回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集28a-ZT-10、P836　(1999)

１９９８年

１０件

• 金子 悦久、河合 晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの直接倒壊(5)＜L字パターンの剥離強度＞、
  秋季第59回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集15a-K-1、P584　(1998)
• 西崎 芙美、河合 晃：
  AFM探針と基板間のメニスカス形状解析：AFM陽極酸化法によるアプローチ、
  秋季第59回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集18a-W-3、P531　(1998)
• 河合 晃：
  ミクロンサイズの幾何学的凹凸表面での液滴の濡れ挙動、
  春季第45回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集28p-PC-10、P788　(1998)
• 立幅 義人、嶋田 清、安藤 英一、河合 晃：
  AFMを使用したPSL粒子の付着力の解析、
  春季第45回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集28p-PB-9、P780　(1998)
• 関 明寛、河合 晃：
  基板間の高分子膜に生じる粘性指状変形と接着性、
  春季第45回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集29p-YM-9、P904　(1998)
• 川上 喜章、河合 晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの直接倒壊(4)＜微細パターンのヤング率測定＞、
  春季第45回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集29p-YL-1、P715　(1998)
• 堀口 博司、松下 剛、河合 晃、濱崎 勝義：
  AFMによる探針と固体表面間のHamaker定数の解析、
  春季第45回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集28a-YH-7、P528　(1998)
• 河合 晃：
  10nm以下のAu薄膜の成長挙動と接触角変化、
  第36回日本接着学会年次大会、予稿集P-11-A、P127　(1998)
• 河合 晃、金子 悦久、川上 喜章：
  原子力間顕微鏡(AFM)微細探針を用いたレジストマイクロパターンの直接剥離(2)、
  第36回日本接着学会年次大会、予稿集P-12-B、P129　(1998)
• 川神 淳子、河合 晃：
  AFMによるHMDS処理した基板表面のvan der Waals力解析、
  秋季第59回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集15a-K-2、P585　(1998)

１９９７年

２３件

• 河合 晃：
  ミクロンサイズの幾何学的凹凸表面上での液滴の濡れ挙動、
  日本表面科学会、第17回表面科学講演大会、予稿集P05、P61　(1997)
• 川上 喜章、河合 晃：
  AFM微細探針によるマイクロレジストパターンの直接剥離及び接着挙動解析、
  日本表面科学会、第17回表面科学講演大会、予稿集2B03(S)、P92　(1997)
• 堀口 博司、河合 晃：
  AFM探針とPSL(直径42nm～1μm)凝集体間の付着力に及ぼす粒子変形の影響、
  日本表面科学会、第17回表面科学講演大会、予稿集2B02(S)、P91　(1997)
• 河合 晃、堀口 博司、立幅 義人、嶋田 清、安藤 英一：
  有限要素法により解析した微粒子の剥離挙動、
  第18回計算電気・電子工学シンポジウム、予稿集1-Ⅱ-14、P119　(1997)
• 関 明寛、河合 晃：
  インピーダンス法により解析した接着層の粘性指状変形、
  第7回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集Ⅳ-12、P107　(1997)
• 川上 喜章、河合 晃：
  微細カンチレバーを用いた微細レジストパターンの接着力解析、
  第7回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集Ⅳ-13、P109　(1997)
• 堀口 博司、河合 晃：
  原子力間顕微鏡(AFM)探針と有機微粒子間のvan der Waals(双極子間相互作用)力の解析、
  第7回電気学会東京支部新潟支所研究発表会、予稿集Ⅱ-11、P53　(1997)
• 河合 晃、川上 喜章：
  AFM微細探針によるレジストパターンの直接倒壊(3)＜溶液浸漬中での剥離＞、
  秋季第58回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集3a-SC-19、P648　(1997)
• 川上喜章、河合晃：
  AFM微細探針によるレジストパターンの直接剥離(2)＜ベーク温度依存性＞、
  秋季第58回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集3a-SC-18、P648　(1997)
• 堀口博司、立幅 義人、嶋田 清、安藤 英一、河合 晃：
  AFM探針を用いたPSL粒子の凝集挙動の解析、
  秋季第58回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集4p-E-17、P843　(1997)
• 堀口博司、立幅 義人、嶋田 清、安藤 英一、河合 晃：
  AFMによるPSL粒子とTip間の摩擦挙動解析、
  秋季第58回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集3p-ZT-4、P520　(1997)
• 立幅 義人、嶋田 清、安藤 英一、河合晃：
  原子間力顕微鏡を用いた数十nmの異物の洗浄解析、
  秋季第58回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集5a-D-12、P873　(1997)
• 嶋田 清、立幅 義人、安藤 英一、河合 晃：
  機能水における表面自由エネルギー成分の評価(2)、
  秋季第58回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集5p-D-11、P873　(1997)
• 河合 晃、川上 喜章：
  原子力間顕微鏡(AFM)の微細探針を用いたレジストマイクロパターンの直接剥離、
  第35回日本接着学会年次大会、予稿集P-14-A、P89　(1997)
• 河合 晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)によるフォトレジスト膜表面の摩擦挙動解析、
  第35回日本接着学会年次大会、予稿集P-13-A、P87　(1997)
• 河合晃、堀口博司、立幅 義人、嶋田 清、安藤 英一：
  原子間力顕微鏡を用いた微粒子の付着挙動解析(フォースカーブによる局所解析)、
  第35回日本接着学会年次大会、予稿集P-12-B、P85　(1997)
• 河合 晃、関 明寛、小泉 延恵：
  インピーダンス法によるフォトレジスト膜内の樹脂状空隙パターンの成長挙動解析、
  第35回日本接着学会年次大会、予稿集P-15-A、P91　(1997)
• 立幅 義人、嶋田 清、安藤 英一、河合 晃：
  機能水中における基板上のPSLの剥離挙動解析、
  第35回日本接着学会年次大会、予稿集P-7-A、P75　(1997)
• 鈴木 清修、後藤 浩志、小向 卓、堀口 博司、河合 晃、濱崎 勝義：
  Nb陽極酸化プロセスによるS-c-Sデバイスの作製と特性評価、
  春季第44回応用物理学関係連合講演会No.１、予稿集28a-SL-21、P107　(1997)
• 河合 晃、川上 喜章：
  AFM微細探針によるレジストパターンの直接剥離、
  春季第44回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集29p-V-13、P576　(1997)
• 立幅 義人、河合 晃：
  機能水における表面自由エネルギー成分の評価、
  春季第44回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集30p-D-13、P777　(1997)
• 河合 晃、小泉 延恵：
  Cu/WBL/Al多層膜構造の破断面解析、
  春季第44回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集29a-ZM-6、P459　(1997)
• 河合 晃、芦田 安立：
  AFM探針の付着力と表面エネルギー成分(極性、分散)との相関、
  春季第44回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集30a-PB-9、P517　(1997)

１９９６年

５件

• 河合 晃、西村 知巳、内海 誠：
  固体表面での微小液滴群の成長・消滅過程、
  第34回日本接着学会年次大会、予稿集P-40-B、P167　(1996)
• 河合 晃：
  大気中での接触角測定より求めた遷移金属薄膜の表面自由エネルギーの分散および極性成分、
  第34回日本接着学会年次大会、予稿集P-42-B、P171　(1996)
• 河合 晃：
  原子間力顕微鏡(AFM)により測定したフォトレジスト薄膜の熱特性、
  第34回日本接着学会年次大会、予稿集P-41-A、P169　(1996)
• 河合 晃、岡田 彰：
  ミクロンサイズの幾何学的凹凸表面上での液滴の濡れ挙動、
  第34回日本接着学会年次大会、予稿集P-32-B、P151　(1996)
• 河合 晃、関屋 さとみ：
  AFM測定時の像シフトによるフォトレジスト表面の摩擦特性解析、
  春季第43回応用物理学関係連合講演会No.2、予稿集29a-Q-11、P516　(1996)

１９９５年

５件

• 河合 晃：
  接触角法により測定した遷移金属薄膜の表面自由エネルギーの分極及び極性成分、
  日本表面科学会、第15回表面科学講演大会、予稿集1B08、P37　(1995)　
• 河合 晃：
  レジスト膜上のスピンオンガラス膜に発生する微細亀裂、
  日本セラミック協会東北北海道支部研究発表会、第15回基礎科学部会東北北海道地区懇話会、予稿集P-34、P104　(1995)
• 伊知地 賢一郎、谷口 純也、安井 寛治、河合 晃、赤羽 正志：
  ハイブリットプラズマＣＶＤ法により堆積したSiN-BN膜の表面自由エネルギー、
  秋季第56回応用物理学会学術講演会No.2、予稿集29p-ZH-3、Pz477　(1995)
• 河合 晃：
  原子間力顕微鏡により検出した薄膜の表面自由エネルギーと接着力予測、
  第33回日本接着学会年次大会、予稿集Ｐ-Ｂ-8、P143　(1995)
• 河合 晃：
  光リソグラフィーで作製した幾何学的凹凸表面での液体のぬれ挙動、
  第33回日本接着学会年次大会、予稿集Ｐ-Ａ-8、P91　(1995)