教授よりご挨拶
河合研究室のHPへようこそいらっしゃいました。
本研究室では、ナノテクノロジーの中核となる微細加工技術を駆使して、機能性有機材料、新機能デバイス、および新規測定技術の開発を行っています。
現在、研究室は、河合教授、修士学生1名(M2:1名)、学部学生3名(B4:3名)で構成されています。
また、本研究室では、科学研究費補助金による研究をはじめ、各種財団助成および企業との共同研究を通じて、社会の発展に寄与する学術研究の推進、産業界で即戦力となる人材育成、および博士学位取得などの高度技術研究者の育成に力を入れています。
日頃より、研究室学生には、自らよく考え、計画的に研究を遂行することを基本として指導しています。また、修士以上の研究室学生は、論文発表および学会発表などを通じて、研究成果発表の重要性を学んでいます。
今後の本研究室の発展にご期待ください。
長岡技術科学大学
河合 晃
研究室の研究教育概要
研究
ナノ・マイクロシステム工学研究室では、ナノマイクロシステム、ナノ計測分析、センシングシステム、デバイスプロセス、ナノ加工、ナノ物性等、広い意味での電子デバイス関連分野の研究を実施しています。特に、以下の研究分野を中心として研究を推進しています。
(１)インテリジェントMEMS(micro slectro-mechanical systems)の開発
マイクロ流体MEMS，生体バイオMEMS，パワーMEMS，カプセル型MEMS
(２)次世代デバイスプロセス技術の開発
微細加工技術，リソグラフィ，レジスト材料，エッチング技術，膜形成、濡れ・付着・乾燥，はんだ技術，超清浄
(３)ナノ計測制御技術の開発
走査型プローブ顕微鏡(AFM)，ナノインデント，ナノアドビ―ジョン，ナノマニピュレーション，DPAT ( Direct Peeling by
using AFM Tip ) 技術
(４)機能性電子材料の開発
誘電材料，半導体材料，機能性高分子材料，ナノ材料
教育
本学大学院の重要な使命は、実践的指導者としての学生の育成です。将来の日本を背負う若い技術者として、現象を論理立てて見つめ、機能的にプレゼンテーションすることに重きを置いて指導しています。大学院研究を通じて、以下のように、学生の育成指導に力を入れています。
(５)世の中の情勢を把握し、有効なシーズを発掘できるスキルを身につける。
(６)確実な実験を実施し、信頼性のある結果・結論を導き出す能力をつける。
(７)論文執筆や国際学会等を通じて、使えるコミュニケーションツールとして語学力をつける。
産学連携
研究室では、これまでに無いユニークな計測技術として、原子間力顕微鏡(AFM)を用いた微小固体の付着凝集性の解析手法(DPAT法）を、世界に先駆けて開発し、超LSIなどの開発ツールとして実用的に貢献してきました。また、うなり振動法やナノバブル同定法などの特許取得となった新規技術も多く開発してきました。よって、以下のように研究成果の実用化にも重点を置き、産学連携を推進しています。
(８)研究成果の実用化を推進する。特に、実用化として課題となるノウハウ・スキル等を科学する。
(９)特許取得を推進する。
(１０)安全に対する連携を推進する。
(１１)企業研究者の博士学位取得を推進する。
以上のように、研究・教育・産学連携を研究室の重要項目として位置付けて、日々、革新的な成果の創出に励んでまいります。