研究室紹介
研究について
MEMS（Micro Electro Mechanical System）という名称の微小電気機械素子は、スマートフォンの水平センサやDNA解析など、幅広い分野に応用されています。河合研究室ではMEMSの新機能（インテリジェンス）を目指す研究を行っており、例えば生体の成長制御を必要とするバイオ分野や微小燃料電池のようなエネルギー分野に力を入れています。これらの研究テーマは指導教員と議論を重ねながら発掘し、独自のデバイスへと発展させていきます。
デバイス作製は主にクリーンルームで行われ、CVDやRFスパッタといった成膜装置や、RIEのようなSi加工技術を備えています。さらにXPSやAFMなどのナノスケール分析装置も合わせると合計60種類以上の装置があります。これらを学生が自分で使い、デバイスの設計、作製、評価まで一貫して研究できることが本研究室の特色です。
また企業との共同研究も行っており、特許を取得して産業界へのアプローチも行っています。
研究室の一日
河合研究室の一日は、朝に全員でクリーンルーム・分析室のクリーニングから始まり、その後は各自のスケジュールで実験や文献調査、個別の研究打ち合わせを行います。また、毎週のゼミとして進捗報告や論文紹介が行われ、実験結果や研究のモチベーションを報告し、メンバーと意見を交わして研究の進展を図ります。
さらに、英語を積極的に使用すること、国際学会への参加を目指し、ゼミの冒頭5分間は自分の研究を英語で紹介します。英語が苦手な学生も研究室で勉強していく中で着実に英語が身に付きます。
また、本研究室では主要装置の使用はライセンス制となっています。これは安全のために欠かせないものであり、ライセンス取得の過程で、原理、操作方法、安全対策を学びます。
研究室行事として、春秋のゴルフ大会や冬の鍋パーティーなどメンバーの親睦を深める活動も行っています。