研究設備
研究室・実験室
- 【163室】クリーンルーム管理室（教職員ブース、休憩ブース、図書室）
- 【153室】クリーンルーム（クラス1000、前室、前処理室、プロセス室、露光室、インライン計測室、試料室、動力室）
- 【151室】デバイス評価室（デバイス信頼性・動作特性評価、中小型分析）
- 【162室】デバイス分析室（大型分析ブース、学生ブース）
- 【162室】デバイス解析室（シミュレーション、ゼミ室、工作室）
クリーンルーム管理室
河合研究室は、博士課程研究実験棟１Ｆに位置しています。廊下を挟んで、管理室、分析室、評価室、クリーンルームが隣接しています。管理室は、クリーンルームを始め、各実験室および解析室の維持管理を主に行う施設です。また、教員・スタッフの居室も兼ねています。この部屋には研究用の専門図書として約１０００冊が揃っています。また、この部屋は、常に各実験室に隣接しているため、緊急時やトラブルへの迅速な対応ができるようになっています。ここには、全実験室の様子をモニターできる施設があり、異常を素早くキャッチできる体制となっています。また、休憩用のスペースを備え、ドリンクや軽食も可能であり、メンバーの交流にも役立っています。
研究室前の廊下
博士課程１号棟全景
（１Ｆが研究室）
各実験室の常時モニター
研究室蔵書(一部)
研究室蔵書(一部)
クリーンルーム
このクリーンルームは天井吹き出しリターンタイプであり、風量調整によりクラス１０００相当の能力を有しています。ここには、半導体およびデバイス用の製造設備一式が揃っており、研究室メンバーはオリジナルな機能性デバイスを自分で作製することができます。マスクデザインからパッケージングまでの一切を、研究室内の設備で行うことができます。加工レベルは50～100nmレベルとなり、３次元光造形装置やナノインプリント装置などの最先端の設備も稼働しています。この設備で、トランジスタや太陽電池、各種センサなどの機能的なデバイスを生み出してまいりました。企業との産学連携の場としても、その稼働率は高い状況です。また、大学院生は、このクリーンルームで各種設備の動作原理や操作法を習得するとともに、薬品等を安全に取り扱うなどの重要なスキルを身に付けます。このように、デバイスの一環製造施設は全国の大学でも数少ない貴重なものと言えます。
| マニュアル等 | クリーンルームの入室方法.pdf |
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前室からの眺め
前室
エアーシャワー
エアーシャワー
建屋分離型の防振エリヤ
ディスカッション
前室との電話連絡
プロセス処理準備
足裏用粘着マット
前室のクリーン服とシューズ
反射ミラーによるモニター
反射ミラーによる安全対策
2-12インチSiウェハ
デバイス分析室
ここでは作製したデバイスの評価解析を主に行う実験室です。各分析装置はスタッフから指導を受けることにより、各学生にはオペレーションライセンスが与えられ、納得のいくまで自分で分析に集中することができます。また、この部屋には、メンバーの研究ブースがあり、最新のデータを常に解析し考察を重ねて、世界との研究競争に寄与する成果を日々創出しています。
分析室（ＸＰＳ、ＥＳＥＭなど）
連続運転のTR-XPS
学生ブース
ブース型机
スケジュールモニター
ゼミ室・デバイス解析室
ここでは、研究室メンバーが一同に集い、日々の研究成果をゼミ形式で発表するエリアです。ゼミでは、毎週メンバーが自分の研究進捗を発表します。これにより、学生たちは、自分の努力の成果を第三者へ効果的にアピールするためのプレゼンテーション能力を鍛えます。また、実験結果について、指導教員とともに、徹底的に討論し、学術論文や国際学会などの社会へ発信できるレベルへ仕上げていきます。ゼミ発表では、英語プレゼンを多く導入し、実践的な英語力を養います。そして、研究室ゼミを通じて、いわるゆ対外的な説得力、問題意識の深化、真理の追及といった通常の授業だけでは養えない人間力としてのスキルをトレーニングしていきます。ゼミブースの壁にはＯＢ学生の栄えある受賞賞状が飾られており、現役学生も負けぬよう日々研鑽を積んでいます。
プレゼン用プロジェクタ
受賞パネル展示
ゼミによる発表討論会の様子
