ギャラリー
研究風景
居室での議論
走査型電子顕微鏡による解析
先輩によるCVD装置のオペトレ
ボンディングテスタによる剥離試験
原子間力顕微鏡による高分子材料解析
クリーンルーム内でのデバイス作製
有限要素法による解析
接触角計による濡れ性解析
流体制御MEMS(テクノミュージアム展示)
流体制御MEMS
Si(100)単結晶表面への
異方性曲線エッチング
XPSによる固体表面状態解析
単結晶のCMP研磨実験
紫外線によるパターン転写
流体制御用シート
光学顕微鏡によるパターン解析
粗さ計による膜厚測定
マイクロ燃料電池システム
超音波駆動型マイクロ人工心臓
原子間力顕微鏡(AFM)によるデバイス観察
RFマグネトロンスパッタ装置
による薄膜作成
光、RF、ECR－CVD装置
CVD－スパッタ マルチチャンバー
RFマッチング
露光室:イエロールーム(クラス1000)
レジスト膜のスピンコーティング
デザインマスク乾板の作製
ワイヤーボンディング
(超音波ウェッジ：Al線)
全反射型XPS分析装置
人口気象器によるバイオ実験
超撥水制御
CF4、O2、N2 Ar RIEエッチング装置
電子ビーム蒸着・抵抗加熱蒸着装置
Si デバイスの電子ビームアニール実験
電気炉・酸化炉・アニール炉
XPSによる表面F原子の結合状態解析
X線回折装置による固体結晶構造解析
蛍光X線分析による微量元素の定量解析
工業用X線CT解析装置(分解能７μｍ)
X線CTによるデバイス構造解析
有限要素法によるデバイス変形解析
縮小露光装置(自作)によるマスク合わせ
微小サンプルのスピンコート
ナノインプリント装置(UV照射型)
O2アッシング装置によるレジスト除去
アッシングチャンバー内部 ３インチ用
FT-IRによる分子構造解析
サーモビュアによる温度分布解析
高速度カメラによる高速現象解析
Ge単結晶型FTIR－ATRシステム
偏光機能付きFTIR－RAS測定システム
気中／液中両用の引張り試験機
UV可視紫外分光(190～900nm)
うなり振動型地震センサ
タイガー製 回転計算機
流体制御型MEMS