研究概要
河合研究室では、クリーンルーム（クラス1000）と呼ばれる花粉や埃等の粒子がほとんどない特別な部屋で研究や実験を行っています。クリーンルームには様々なデバイス製造装置があり、それらを用いてナノ・マイクロといった小さなデバイスシステムを開発しています。
最新情報では、体内で発電動作する微小な燃料電池、リソグラフィによるな新触感表面や植物工場に適用する電子デバイス等を作製しています。独創性のあるシステムを完成させ、その業績に対して、学長賞やベストポスター賞をはじめとする様々な賞を20件以上受賞しています。
また企業との共同研究も行っており、特許を取得して産業界へのアプローチも行っています。
主な研究紹介
- ナノ・マイクロシステム
- 生体・バイオデバイス
- パワーデバイス
- デバイス作製プロセス
- 地震波検出デバイス
- AFMプローブ技術
- 流体制御デバイス