ナノ・マイクロシステム工学研究室 河合研究室
国立大学法人 長岡技術科学大学 電気電子情報工学専攻
電子デバイス・フォトニクス工学講座
アクセスマップ
著作権
〒940-2188 新潟県長岡市上富岡町1603-1
長岡技術科学大学 電気電子情報工学専攻 河合研究室
E-mail:kawai @ vos.nagaokaut.ac.jp
ホーム
メッセージ
募集案内
研究内容
研究室紹介
研究業績
教育
産学連携
研究資金
ミニセミナー・基礎講座
総目次
コーティング
塗布・乾燥プロセス
スピンコート法による膜質は均一である
塗膜の乾燥による硬化メカニズムを明確にする
乾燥時の液体メニスカスの挙動を追う
超臨界と凍結乾燥法によるラプラス力低減
スピンコート法による膜厚10nm以下の自己組織化(SAN)膜の作成
微粒子制御
小さいサイズの微粒子ほど凝集を支配する
微粒子の凝集はサイズに依存する
小さい微粒子の凝集力は下がる
塗膜の性質
塗膜の表面には極薄い硬化層ができている
高分子膜の表面粗さをナノスケールで制御する
ナノマニピュレーション法による凝集性解析
アルカリ水溶液の浸透による応力変動
熱処理により界面への溶液浸透は加速する
CVD膜の被覆性およびボイド形成
減圧乾燥による内部応力コントロール
屈折率による膜の浸透・膨潤解析
Q&A(よくいただくご質問)
20件
濡れ・気泡・付着・表面処理
液滴の濡れ性
接触角をエネルギー的に解析する
表面粗さと素材割合によって接触角は変化する
撥水表面は濡れにくい
濡れ挙動は分散極性と拡張係数で説明できる
ピンニングにより濡れは支配される
付着剥離
塗膜の付着性と表面エネルギーの極性成分
ウェットエッチングと塗膜の内部応力
塗膜の熱処理と溶液中の付着性コントロール
界面構造と付着性
熱処理によって大気中の付着力は増加する
はんだバンプの高精度剥離法とは(角度可変型剥離法)
微小気泡
微細パターンによる微小気泡の付着脱離解析
マイクロチャネル/チューブ網における気泡トラップ解析
塗布乾燥欠陥
接着層のピンホール(VF(viscos finger)変形)
ピンホールは拡張モードで解決する
塗膜のクラック発生を抑制する
乾燥むらは乾燥時の対流が原因である
ウォータマーク(乾燥痕)の生じる原因
塗膜内のガス発生により微小剥離が生じる
表面エネルギーと表面処理
表面現象と表面エネルギーと表面積依存性
凸部では濡れにくく凹部では濡れやすい
シランカップリング処理による疎水化
シランカップリング処理の最適化
シランカップリング処理と密着性及び付着性
Q&A(よくいただくご質問)
44件
リソグラフィ
フォトレジスト
リソグラフィによる高分子パターン形成
DFRレジストによるメッキプロセス
塗膜ラインパターンは先端から剥離する
微細加工パターンの付着性と付着面積
溶液中の塗膜パターンの付着力
高分子パターンと微細空孔(vacancy)
レジストパターン内の屈折率分布測定
薄膜の加工技術とが半導体集積回路の発展
最先端エレクトロニクスへの塗膜技術
多層レジストプロセスの高機能化によるCu配線形成
ポジ型レジストを用いたネガパターン形成
3次元リソグラフィ(光造形法)による微小立体構造作成
分析・評価・解析
評価・分析・解析
AFMによる微細加工パターンの付着性解析(1)
AFMによる微細加工パターンの付着性解析(2)
AFMによるナノ気泡・ナノ液滴解析
AFMを用いた微小固体のヤング率測定
相互作用力を実測し付着力を推定する
信頼性評価
コーティング膜の信頼性を解析する
プリント基板接着層の疲労耐久試験
水素結合成分による高分子膜の相互作用解析
AFMによる高感度湿度センサー
固体表面でのAFM探針の吸着力解析
AFMを用いた一括破壊試験法
AFMによる微粒子間の相互作用力解析
Q&A(よくいただくご質問)
4件
教育
学部講義
大学院講義
ミニセミナー・基礎講座
コーティング
濡れ・気泡・付着・表面処理
リソグラフィ
分析・評価・解析
Q&A
学生指導
学生の学位論文
学生の受賞
学生による原著論文
学生の国際学会発表
ページのトップへ戻る