オープンハウス

平成２８年度オープンハウス研修のご案内

河合研究室では、オープンハウスを実施して、高専の学生の皆さんを受け入れています。
この機会を利用して、長岡技術科学大学および河合研究室への理解を深めていただくと幸いです。
平成２８年度は以下の内容で実施いたします。

研修テーマ【専攻科生対象】

先端リソグラフィ（微細加工）技術を極める

研修内容

微細加工技術（lithography）は16世紀の銅版エッチングから始まり、近年の最先端の電子デバイス加工に至るまで、時代のトレンドに影響されない確固たる基盤技術であり、未来へ向けて弛まない進化を続けている。
本テーマでは、等倍転写、縮小投影露光、電子ビーム描画、マイクロ３次元光造形（3Dプリンタ）等の各専門技術を修得し、マイクロからナノスケールに至る加工技術を修得する。
レジストマスクによるパターン形成技術と、ウェットドライによるエッチング技術の基礎を習得する。
また、半導体デバイス、バイオデバイス、MEMSデバイスなどの機能性電子デバイスへの応用力を習得する。

受入期間

平成28年9月5日(月)～9月9日(金)

受入日数

5日間（30時間）

備考

1回のみ開講
クリーンルーム内での実験実習が主体になります。

応募方法

長岡技術科学大学オープンハウスの下記ページをご覧ください。 http://www.nagaokaut.ac.jp/j/annai/openhouse.html

過去のオープンハウス研修

平成１７年度
研修テーマ 機能性マイクロマシンの作製
研修内容 今後、ナノテクノロジーの分野において、微細加工デバイスの重要性が高まっている。この研修では、リソグラフィーシステムを用いて、３次元構造の機能性マイクロデバイス（マシン）を作製する。
この研修を通して、マスク作製、レジストパターン作製、基板エッチング、電極配線、特性評価などのマイクロデバイスの一連のプロセスを経験する。また、観察法として、走査型電子顕微鏡（SEM）や原子間力顕微鏡（AFM）を経験する。
作製したデバイスに対して、有限要素法（FEM）による応力解析、電磁界解析を経験する。受講生に分かりやすい課題を準備している。
平成１５年度
研修テーマ ナノ微粒子の凝集と付着
研修内容 数１０ナノメーターから数ミクロンのサイズの微粒子の凝集・付着挙動を測定する。原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）等を用いながら、凝集挙動を観察する。
今後のナノテクノロジーにおけるナノサイズ固体の構築の基礎を経験する。
平成１４年度
研修テーマ AFMを用いてナノサイズの文字を書いてみよう
研修内容 原子間力顕微鏡（AFM）を用いて、陽極酸化法により、シリコン表面にナノメートルサイズの酸化膜ラインを製作する。この技術により、シリコン基板上に、任意の文字、デザインを作成し、ナノリソグラフィー技術を経験する。
さらに実験結果についてのレポートを作成し、データのまとめ方、考察方法などを習得する。
研修を通して、ナノテクノロジーの基礎技術である微細加工技術を経験する。
研修
スケジュール		 １日(木)　AM　ガイダンス　　PM　接触角測定実験
２日(金)　AM　AFMの概要説明　　PM　レジストパターン像観察
３日(土)　休み
４日(日)　休み
５日(月)　AM陽極酸化（プログラム作成）　　PM　陽極酸化
６日(火)　データ整理
７日(水)　AM　データ整理と発表準備　　PM　実習発表